Wachstum von Dünnschichtmaterialien durch elektrische Entladung

Ein Dünnfilm ist eine Schicht oder mehrere Schichten eines Materials mit einer Dicke von Nanometern (Monolayer) bis zu mehreren Mikrometern. Wenn mehrere dünne Schichten übereinander liegen, spricht man von einer Mehrschichtstruktur. Dünne Schichten werden zu verschiedenen Zwecken auf ein Substrat aufgebracht, z. B. zum Schutz des Substrats, zur Veränderung seines Aussehens zu dekorativen Zwecken, zur Veränderung der optischen oder elektrischen Eigenschaften des Substrats und vieles mehr.Das Verfahren der Dünnschichtabscheidung ist für zahlreiche Anwendungen von großer Bedeutung. Dabei wird eine dünne Schicht eines beliebigen Stoffes auf eine Oberfläche aufgebracht, sei es ein Substrat oder bereits abgeschiedene Schichten. Je nach der vorherrschenden physikalischen oder chemischen Natur des Prozesses können die Abscheidetechniken grob in zwei Gruppen eingeteilt werden. In diesem Vortrag werden die in diesem Bereich am häufigsten verwendeten Verfahren vorgestellt.