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Beschreibung
Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik
Details
| Verlag | Springer Berlin |
| Ersterscheinung | 30. Oktober 2012 |
| Maße | 23.5 cm x 15.5 cm |
| Gewicht | 581 Gramm |
| Format | Softcover |
| ISBN-13 | 9783642635113 |
| Seiten | 368 |