Uprawlenie bystrymi termicheskimi processami pri gazofaznoj äpitaxii

V rabote rassmotrena zadacha postroeniq robastnogo zakona uprawleniq po wyhodu dlq sistemy so stepennoj nelinejnost'ü. V kachestwe prakticheskogo primeneniq rassmatriwaetsq zadacha regulirowaniq temperatury w bystryh termicheskih processah, harakternyh dlq gazofaznoj äpitaxii. Reshenie zadachi polucheno s ispol'zowaniem metoda posledowatel'nogo kompensatora. V rabote formuliruetsq ogranichenie na nelinejnost', predstawlqüschee soboj ob#edinenie sektornoj i stepennoj nelinejnostej. Pokazano, chto polinomial'naq nelinejnost' sootwetstwuet wwedennomu ogranicheniü. S ispol'zowaniem apparata funkcij Lqpunowa dokazywaetsq asimptoticheskaq ustojchiwost' zamknutoj sistemy dlq ukazannogo tipa nelinejnosti, chto usiliwaet ranee izwestnye rezul'taty. Jexperimental'noe issledowanie processa gazofaznoj äpitaxii pokazalo, chto s primeneniem predlozhennogo metoda udaetsq obespechit' nulewoe matematicheskoe ozhidanie oshibki slezheniq i srednekwadratichnuü oshibku temperatury, ne prewyshaüschuü 1 K