Tonkoplönochnye mikrosborki: tehnologiq, konstrukcii, proektirowanie

Nauchnaq problema, kotoraq reshaetsq w dannoj rabote, zaklüchaetsq w ustarewshem metodologicheskom podhode k proektirowaniü i proizwodstwu tonkoplenochnyh MSB, kotoryj sderzhiwaet rost ih plotnosti upakowki. V knige izlozheny osnownye woprosy proektirowaniq i tehnologii mikrosborok s topologicheskimi razmerami 10¿50 mkm. Razrabotana teoriq tonkoplönochnogo rezistora. Rassmotreny konstrukcii i sposoby izgotowleniq tonkoplönochnyh rezistorow, a takzhe rqd konstruktiwno-tehnologicheskih wariantow mnogourownewyh plat. Priwedeny metody i algoritmy proektirowaniq topologii plat mikrosborok i rascheta tonkoplönochnyh älementow. Osnownye teoreticheskie polozheniq podtwerzhdeny äxperimental'nymi issledowaniqmi. Kniga prednaznachena dlq shirokogo kruga nauchnyh i inzhenerno-tehnicheskih rabotnikow, zanimaüschihsq issledowaniqmi, proektirowaniem i razrabotkoj tehnologij integral'nyh shem, w chastnosti, tonkoplönochnyh mikrosborok. Takzhe izdanie mozhet byt' polezno studentam, magistrantam, aspirantam i prepodawatelqm wuzow, kotorye izuchaüt ili prepodaüt rodstwennye discipliny.