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Thermoelectrical Effect in SiC for High-Temperature MEMS Sensors

Thermoelectrical Effect in SiC for High-Temperature MEMS Sensors

von Dzung Viet Dao, Nam-Trung Nguyen und Toan Dinh
Softcover - 9789811325700
53,49 €
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Beschreibung

This book presents the fundamentals of the thermoelectrical effect in silicon carbide (SiC), including the thermoresistive, thermoelectric, thermocapacitive and thermoelectronic effects. It summarizes the growth of SiC, its properties and fabrication processes for SiC devices and introduces the thermoelectrical sensing theories in different SiC morphologies and polytypes. Further, it reviews the recent advances in the characterization of the thermoelectrical effect in SiC at high temperatures. Discussing several desirable features of thermoelectrical SiC sensors and recent developments in these sensors, the book provides useful guidance on developing high sensitivity and linearity, fast-response SiC sensing devices based on thermoelectrical effects.

Details

Verlag Springer Singapore
Ersterscheinung 23. Oktober 2018
Maße 23.5 cm x 15.5 cm
Gewicht 207 Gramm
Format Softcover
ISBN-13 9789811325700
Seiten 115

Schlagwörter

Condensed Matter Physics, Elektronik, Microsystems and MEMS, Nanotechnologie, Nanotechnology, Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)

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