THEORETISCHE UND EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN VON NICHROM-DÜNNSCHICHTEN

Die Untersuchung von biokompatiblen Dünnschichten ist eines der verbindenden Themen in der Entwicklung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS), nanoelektromechanischen Systemen(NEMS) und der Instrumentierung in der heutigen Zeit. In der vorliegenden Studie werden einigetheoretische und experimentelle Aspekte der Nichrom-Dünnschicht für ihre biomedizinischen Anwendungenuntersucht worden. In dem Buch werden zwei Studien vorgestellt.Die erste Studie beschreibt das Auftreten von Knicken an Nichrom-Dünnschichten undseine Kontrolle durch die Herstellung einer nicht-planaren Topologie auf einem elastomeren Substrat.Die zweiteuntersucht die mögliche Verwendung von Nichrom-Dünnfilm in einer mikrofluidischen Vorrichtungfür die Zelltrennung.