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The Physics of Micro/Nano-Fabrication

von Ivor Brodie und Julius J. Muray
Hardcover - 9780306441462
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Beschreibung

In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

Details

Verlag Springer US
Ersterscheinung 31. Januar 1993
Maße 25.4 cm x 17.8 cm
Gewicht 1384 Gramm
Format Hardcover
ISBN-13 9780306441462
Auflage 1992
Seiten 622

Gesetzliche Gewährleistung

EU-Hinweis zur gesetzlichen Gewährleistung: Mindestens zwei Jahre gesetzliche Gewährleistung der Vertragsmäßigkeit für Waren, die in der Europäischen Union verkauft werden.

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