Tehnologiq sborki GIS

V knige oswescheny issledowaniq po izgotowleniü mikroshem s alüminiewoj i nikelewoj metallizaciej. Issledowano wliqnie alüminiq, nikelq, medi, bronz w kachestwe tokoprowodqschej powerhnosti mikropoloskowyh plat na welichinu aktiwnyh poter'. Pokazana wozmozhnost' izgotowleniq SVCh-mikrosborok bez primeneniq zolota. Issledowan rezonansnyj metod opredeleniq wnutrennego sostoqniq twerdyh tel i dano ego teoriticheskoe obosnowanie. Rassmotrena wozmozhnost' primeneniq dannogo metoda dlq ob#ektiwnogo izmeneniq wnutrennego sostoqniq mikropoloskowyh plat w processe naneseniq mnogoslojnoj metallizacii. Dano neskol'ko kriteriew dlq ocenki izmeneniq stepeni neuprugosti. Predlozhena konstrukciq i tehnologiq proizwodstwa korpusow SVCh-mikrosborok s primeneniem mikroplazmennoj swarki.