Tehnologiq mikromontazha integral'nyh shem

Jewolüciq izdelij mikroälektroniki neotdelima ot progressa w oblasti tehnologii korpusirowaniq integral'nyh mikroshem, kotoruü esche 10-15 let nazad otnosili k razrqdu wtorostepennyh, ne trebuüschih prowedeniq shirokomasshtabnyh nauchnyh issledowanij i baziruüschihsq na ispol'zowanii wozmozhnostej imeüschegosq parka sborochnogo oborudowaniq. V dannyj zhe moment nablüdaetsq rezkoe powyshenie interesa uchenyh i specialistow serijnyh proizwodstw k tehnike korpusirowaniq sowremennyh izdelij integral'noj mikroälektroniki ¿ bol'shih i swerhbol'shih integral'nyh mikroshem (BIS, SBIS), w kotoroj central'noe mesto zanimaet mikromontazh kristallow. V knige obobscheny rezul'taty teoreticheskih i äxperimental'nyh issledowanij fiziko-himicheskih swojstw tonkih plenok, rassmotreny bazowye älementy korpusow i wywodnyh ramok BIS, detal'no rassmotreny osobennosti tehnologicheskogo processa, opisany osobennosti ispol'zuemogo pri mikromontazhe tehnologicheskogo oborudowaniq. Kniga napisana prostym i ponqtnym qzykom, i, nesomnenno, najdöt priznanie u specialistow po mikroälektronike, poskol'ku izdaniq po predstawlennomu profilü qwlqütsq dostatochno redkimi i wes'ma wostrebowannymi kak w otechestwennoj pechati, tak i za rubezhom.