Tecniche di litografia

In quest'epoca, i dispositivi elettronici come telefoni cellulari, computer, computer portatili, sensori e molti altri dispositivi sono diventati una necessità per l'uomo per l'assistenza sanitaria, per uno stile di vita piacevole e per svolgere le attività in modo rapido e semplice. Per soddisfare le esigenze delle persone sono stati sviluppati diversi tipi di sensori di temperatura, biosensori, fotosensori, ecc. Tutti questi dispositivi hanno al loro interno chip fabbricati con diodi, transistor, porte logiche e circuiti integrati. La modellazione del substrato utilizzato per l'ulteriore sviluppo di questi dispositivi avviene con l'aiuto di una tecnica nota come litografia. Nel presente lavoro, abbiamo fatto una rassegna di diversi tipi di tecniche litografiche come la litografia ottica, la litografia a raggi ultravioletti estremi, la litografia a fascio di elettroni, la litografia a raggi X e la litografia a fascio di ioni. Vengono discusse le evoluzioni di queste tecniche nel tempo e le loro applicazioni nella fabbricazione di dispositivi. Vengono inoltre discussi i diversi strumenti di esposizione sviluppati nell'ultimo decennio per migliorare la risoluzione dei dispositivi. Vengono discusse le resine amplificate chimicamente e quelle non amplificate chimicamente, con i relativi legami e spessori.