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Beschreibung
Dieses Buch vermittelt einen umfassenden Überblick über die Technologien der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik – von Werkstoffen und Fertigungsprozessen über die Herstellung von MEMS und integrierten Schaltkreisen bis hin zu Mikrosensoren und Aktoren. Es richtet sich an Studierende, Ingenieure und Forschende und verbindet physikalische Grundlagen mit modernen industriellen Anwendungen.
Materialien, Prozesse und Herstellung halbleiterbasierter Systeme
Details
| Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH |
| Ersterscheinung | 11. Januar 2027 |
| Maße | 24 cm x 16.8 cm |
| Format | Softcover |
| ISBN-13 | 9783658528560 |
| Auflage | 2., aktualisierte Auflage 2026 |
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