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Sputter Deposited ZnO Thin Films for Gas Sensing Application

Sputter Deposited ZnO Thin Films for Gas Sensing Application

von Anil Kumar Gadipelly und M. V. Ramana Reddy
Softcover - 9783659705441
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Beschreibung

In this book we have discussed the preparation and characterization of pure ZnO thin films using RF magnetron sputtering technique.The deposition parameters such as substrate temperature and film thickness are optimized for producing good quality films.Systematic characterization of as deposited and annealed films has been discussed from the crystal structure,surface morphology,film composition,optical and electrical properties.The films prepared under optimized conditions are tested for gas sensing characteristics towards ammonia gas.

Details

Verlag LAP LAMBERT Academic Publishing
Ersterscheinung Mai 2015
Maße 22 cm x 15 cm x 1 cm
Gewicht 250 Gramm
Format Softcover
ISBN-13 9783659705441
Seiten 156

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