Sensore acustico MEMS basato sul nitruro di alluminio

Sensore basato sul nitruro di alluminio illustra in dettaglio la progettazione, la simulazione e la fabbricazione di un sensore acustico MEMS basato su AlN per la misurazione di alti livelli di pressione sonora, utile sia ai ricercatori che agli studenti che desiderano comprendere meglio la fabbricazione del sensore e diventare più efficienti e produttivi nella tecnologia dei sensori. Questo libro illustra in dettaglio il confronto tra le proprietà di diversi materiali piezoelettrici. Copre le principali caratteristiche delle fasi di fabbricazione dei semiconduttori con aspetti sia pratici che teorici, che dovrebbero interessare lettori con interessi ed esigenze diverse. L'autore condivide conoscenze ed esperienze preziose sulla progettazione, la simulazione e la fabbricazione di sensori acustici. Gli argomenti specifici trattati comprendono la progettazione e la modellazione matematica, il layout della maschera, la microlavorazione in massa e l'ottimizzazione del diaframma, la progettazione della maschera, lo sviluppo e l'ottimizzazione dello strato di AlN.