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Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Rapid Thermal Processing of Semiconductors

von Peter J. Hesketh und Victor E. Borisenko
Hardcover - 9780306450549
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Beschreibung

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

Details

Verlag Springer US
Ersterscheinung 31. Mai 1997
Maße 25.4 cm x 17.8 cm
Gewicht 908 Gramm
Format Hardcover
ISBN-13 9780306450549
Auflage 1997
Seiten 358

Schlagwörter

Condensed Matter Physics, Optical Materials, Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik), Spectroscopy, Spektroskopie - Spektrochemie - Massenspektrometrie, Technische Anwendung von elektronischen - magnetischen - optischen Materialien