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Plasma Chemistry III

Plasma Chemistry III

Softcover - 9783662159729
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Beschreibung

Plasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization.- The Mechanism and kinetics of plasma polymerization.- Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas.

Details

Verlag Springer Berlin
Ersterscheinung 03. Oktober 2013
Maße 24.4 cm x 17 cm
Gewicht 256 Gramm
Format Softcover
ISBN-13 9783662159729
Auflage Softcover reprint of the original 1st ed. 1980
Seiten 132

Schlagwörter

Physical Chemistry, Physikalische Chemie