Weitere Formate
Softcover - 9783030094553
106,99 €
Autorenfreundlich Bücher kaufen?!
Beschreibung
This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology.
Details
| Verlag | Springer International Publishing |
| Ersterscheinung | 03. April 2018 |
| Maße | 23.5 cm x 15.5 cm |
| Gewicht | 401 Gramm |
| Format | Hardcover |
| ISBN-13 | 9783319762937 |
| Auflage | 1st ed. 2018 |
| Seiten | 138 |
Schlagwörter
Electronic Circuits and Systems, Elektronik, Elektronische Geräte und Materialien, Microsystems and MEMS, Nanophysics, Nanotechnologie, Nanotechnology, Nanowissenschaften, Optical Materials, Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik), Schaltkreise und Komponenten (Bauteile), Semiconductors, Technische Anwendung von elektronischen - magnetischen - optischen Materialien
Bekannt durch
