Nanoprowolochnye datchiki dawleniq

Horosho izwestno, chto mikroälektronika qwlqetsq odnoj iz samyh wliqtel'nyh tehnologij dwadcatogo weka. Bum mikroälektromehanicheskih sistem (MJeMS) w poslednie gody byl by newozmozhen bez zrelosti tehnologii mikroälektroniki. MJeMS - äto nebol'shie, integrirowannye ustrojstwa, kotorye ob#edinqüt älektroniku, älektricheskie i mehanicheskie älementy na odnom chipe. MJeMS obeschaet rewolücionizirowat' bol'shinstwo mikroproduktow, ob#ediniw mikroproizwodstwo s processom mikroobrabotki. Besprecedentnyj urowen' prewoshodstwa, slozhnosti, funkcional'nosti, nadezhnosti i dostupnosti mozhet byt' dostignut na malen'kom kremniewom chipe pri otnositel'no nizkoj stoimosti. MJeMS na nanourowne podrazdelqütsq na nanoälektromehanicheskie sistemy (NJeMS) i nanotehnologii.