Modelirowanie ionno-plazmennyh processow

V monografii priwedeny nowye teoreticheskie podhody i metody, razrabotannye awtorami pri reshenii rqda prikladnyh zadach fiziki gazorazrqdnoj plazmy. Fizicheskoe opisanie ionno-plazmennyh processow dopolneno sowokupnost'ü metodow matematicheskogo modelirowaniq i priemow ih statisticheskogo opisaniq. Na osnowe opisaniq dwizheniq i wzaimodejstwiq otdel'nyh atomnyh chastic proillüstrirowany obschie zakonomernosti qwlenij w processe ionno-plazmennogo raspyleniq. Pokazano, chto zakonomernosti, poluchennye pri modelirowanii dinamiki izmeneniq otdel'nyh atomnyh podsistem, mozhno obobschit', s primeneniem special'nyh procedur, na wsü issleduemuü sistemu processow raspyleniq w ionno-plazmennoj tehnologii. Prowedena korrelqciq rezul'tatow statisticheskogo modelirowaniq processow ionno-plazmennogo raspyleniq mnogokomponentnyh materialow i äxperimental'nyh issledowanij pri nanesenii tonkih plenok slozhnogo stehiometricheskogo sostawa. Monografiq prednaznachena dlq studentow starshih kursow fiziko-tehnicheskih fakul'tetow, aspirantow i nauchnyh sotrudnikow, specializiruüschihsq w oblasti gazorazrqdnoj plazmy i ionno-plazmennoj tehnologii.