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Beschreibung
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Details
| Verlag | Vieweg & Teubner |
| Ersterscheinung | 25. April 2006 |
| Maße | 21 cm x 14.8 cm |
| Gewicht | 376 Gramm |
| Format | Softcover |
| ISBN-13 | 9783835100039 |
| Seiten | 274 |
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