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Beschreibung
Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftsträchtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich für jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; für den Studierenden ebenso wie für den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.
Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
Details
| Verlag | Springer Berlin |
| Ersterscheinung | 14. Juni 2012 |
| Maße | 24.4 cm x 17 cm |
| Gewicht | 894 Gramm |
| Format | Softcover |
| ISBN-13 | 9783642466229 |
| Auflage | Softcover reprint of the original 1st ed. 1989 |
| Seiten | 501 |
Schlagwörter
Control - Robotics - Automation, Control - Robotics - Mechatronics, Electronics and Microelectronics - Instrumentation, Elektronik, Engineering Mechanics, Fertigungstechnik und Ingenieurwesen, Machines - Tools - Processes, Manufacturing - Machines - Tools - Processes, Maschinenbau, Regelungstechnik, Theoretical and Applied Mechanics
Bekannt durch
