Mikro- i nanomehanicheskie mnogoosewye giroskopy-axelerometry

Rassmotreny principy postroeniq mikromehanicheskih sensorow uglowyh skorostej LL-tipa i sensorow linejnyh uskorenij L-tipa, ustrojstw obrabotki signalow. Predstawleny predlozhennye metody postroeniq funkcional'no integrirowannyh mnogoosewyh mikro- i nanomehanicheskih sensorow uglowyh skorostej i linejnyh uskorenij LL-tipa, urawneniq dwizheniq ih chuwstwitel'nyh älementow i modeli zhestkostej uprugih podwesow mikromehanicheskih ustrojstw. Rabota adresowana specialistam w oblasti sozdaniq älementnoj bazy mikrosistemnoj tehniki i mozhet byt' polezna aspirantam i studentam wuzow sootwetstwuüschih naprawlenij. Rabota wypolnena pri finansowoj podderzhke Ministerstwa obrazowaniq i nauki Rossii (proekt ¿213.01¿11/2014¿12 w ramkah bazowoj chasti gosudarstwennogo zadaniq).