MIKRO- I NANOELEKTROMECHANIKA

W nowoczesnej mikroelektronice najbardziej intensywnie rozwijaj¿cym si¿ sektorem s¿ systemy mikroelektromechaniczne, MEMS. Kierunek ten oparty jest na najnowszych osi¿gni¿ciach technologii mikroelektronicznych i ma na celu stworzenie mikromechanizmów wykonawczych, które maj¿ wcze¿niej nieosi¿galne mo¿liwo¿ci funkcjonalne. W ostatnich latach MEMS wywar¿ znacz¿cy wp¿yw na codzienne ¿ycie dziesi¿tków milionów ludzi, poprzez stworzenie nowych rynków dla mobilnej elektroniki, o nieznanych wcze¿niej w¿äciwo¿ciach konsumpcyjnych i bran¿ach - motoryzacyjnej, elektronicznej, lotniczej i kosmicznej, medycznej, itp. Jednak do tej pory wi¿kszo¿¿ specjalistów, twórców sprz¿tu elektronicznego i u¿ytkowników zaawansowanych technologicznie urz¿dze¿ nie ma wystarczaj¿cych informacji na temat nowego kierunku rozwoju mikroelektroniki. W ksi¿¿ce omówiono obecny stan tego kierunku mikroelektroniki, szeroki zakres jej praktycznych mo¿liwo¿ci i perspektywy dalszego rozwoju. Uwzgl¿dniono fizyczne zasady funkcjonowania MEMS i ich charakterystyk¿. Ksi¿¿ka przeznaczona jest dla specjalistów z zakresu mikroelektroniki, informatyki oraz studentów uczelni technicznych.