MICRO- EN NANO-ELEKTRONICA

In de moderne micro-elektronica is de meest intensief ontwikkelende sector de micro-elektromechanische systemen, MEMS. Deze richting is gebaseerd op de nieuwste verworvenheden van micro-elektronische technologieën en heeft als doel om uitvoerende micromechanismen te creëren die voorheen onbereikbare functionele mogelijkheden hebben. In de afgelopen jaren heeft MEMS een grote invloed gehad op het dagelijks leven van tientallen miljoenen mensen, door het creëren van nieuwe markten voor mobiele elektronica, met voorheen onbekende consumenteneigenschappen en industrieën - auto's, elektronica, lucht- en ruimtevaart, medisch, enz. Tot op heden beschikken de meeste specialisten, ontwikkelaars van elektronische apparatuur en gebruikers van hightech apparatuur echter over onvoldoende informatie over de nieuwe richting van de micro-elektronica. Het boek gaat in op de huidige stand van zaken van deze richting van de micro-elektronica, een breed scala aan praktische mogelijkheden en vooruitzichten voor verdere ontwikkeling. Er wordt rekening gehouden met de fysische principes van het functioneren van MEMS en hun kenmerken. Het boek is bedoeld voor specialisten in micro-elektronica, informatica en studenten van technische universiteiten.