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Micro and Nano Fabrication

Micro and Nano Fabrication

von Hans H. Gatzen, Jürg Leuthold und Volker Saile
Softcover - 9783662508268
90,94 €
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Beschreibung

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

Tools and Processes

Tools and Processes

Details

Verlag Springer Berlin
Ersterscheinung 06. Oktober 2016
Maße 23.5 cm x 15.5 cm
Gewicht 820 Gramm
Format Softcover
ISBN-13 9783662508268
Seiten 519

Schlagwörter

Elektronik, Fertigungstechnik und Ingenieurwesen, Machines - Tools - Processes, Microsystems and MEMS

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