Metody powysheniq nadözhnosti mikroshem na osnowe testowyh struktur

V monografii detal'no rassmotrena sistema testowogo kontrolq kachestwa tehnologicheskogo processa izgotowleniq mikroshem, procedura obrabotki dannyh i modelirowaniq wyhoda godnyh kristallow IMS. Osoboe znachenie udeleno metodam ocenki nadezhnosti kristallow mikroshem w sostawe plastin na ätape tehnologicheskogo processa izgotowleniq IMS, pozwolqüschih optimizirowat' processy i obespechit' wysokij urowen' nadezhnosti korpusirowannyh mikroshem. Priwedeny rezul'taty issledowanij nadözhnosti mnogoslojnyh tonkoplönochnyh sistem metallizacii, konkretnye rezul'taty prakticheskogo primeneniq rqda metodow wyqwleniq i otbrakowki korpusirowannyh mikroshem so skrytymi defektami: analiz dinamicheskogo toka potrebleniq, wozdejstwiq impul'sow staticheskogo älektrichestwa, termociklirowaniq, powyshennogo naprqzheniq pitaniq. Kniga prednaznachena dlq specialistow älektronnoj i radioälektronnoj promyshlennosti, a takzhe studentow i aspirantow wuzow sootwetstwuüschej special'nosti.