Jelementy tehnologicheskih ustanowok w mikroälektronnom proizwodstwe

Rabota poswqschena woprosu tehnologicheskogo osnascheniq mikroälektronnogo proizwodstwa. V knige priwoditsq informaciq o naznachenii i konstrukcii älementow tehnologicheskih ustanowok, obespechiwaüschih serijnoe mikroälektronnoe proizwodstwo. Rassmatriwaütsq sredstwa sozdaniq i kontrolq wakuuma, metody i sredstwa ispareniq materialow, poluchenie i kontrol' parametrow tonkih plenok, ustrojstwa äpitaxial'nogo naraschiwaniq, metody i sredstwa polucheniq zaschitnyh diälektricheskih sloew, metody i osnaschenie dlq legirowaniq poluprowodnikow. Priwodimaq informaciq mozhet byt' polezna inzheneram, tehnologam, razrabotchikam mikroälektronnyh izdelij, a takzhe studentam wysshih tehnicheskih uchebnyh zawedenij.