Jeffektiwnost' sistem klimatizacii chistyh komnat

Kniga qwlqetsq monografiej po chistym pomescheniqm älektronnoj promyshlennosti. V nej rassmotren komplex zadach obespecheniq chisto-ty ot teoreticheskih osnow tehniki chistyh pomeschenij i kontrolq mo-lekulqrnyh aärozol'nyh zagrqznenij do prakticheskoj realizacii. Rassmatriwaütsq metodiki analiza molekulqrnyh aärozol'nyh zagrqznenij w chistyh pomescheniqh nano- i mikroälektroniki. Rassmotren metod ulawliwaniq i identifikacii organicheskih soedinenij dlq snizheniq urownq zagrqzneniq chasticami i podderzhaniq himicheski chistoj atmosfery, w chastnosti, priweden detal'nyj analiz istochnikow himicheskih zagrqznenij wozduha. V knige priwodqtsq primery nowyh äffektiwnyh sistem klima-tizacii chistyh pomeschenij älektronnoj promyshlennosti. Nekotorye iz rassmatriwaemyh tehnicheskih reshenij primenimy w shodnyh uslo-wiqh i w drugih otraslqh promyshlennosti. Kniga uchitywaet opyt, nakoplennyj specialistami i organiza-ciqmi razlichnyh stran.