Izgotowlenie nanoporistogo kremniq

Harakteristiki poristogo sloq Si, sformirowannogo w rezul'tate usilennogo serebrom himicheskogo trawleniq p-Si w wodnom rastwore HF/HNO3, zawisqt ot koncentracii ionow Ag w wanne osazhdeniq, koncentracii trawitelq (HF) i okislitelq (HNO3), a takzhe wremeni trawleniq Si-podlozhki. Rezul'taty RJeM podtwerdili, chto osazhdenie ionow serebra iz 1,0 × 10-3 M rastwora AgNO3 na p-Si pered himicheskim trawleniem w HF/HNO3 priwelo k obrazowaniü rawnomernogo PSL po srawneniü s drugimi koncentraciqmi nitrata serebra. Dannye impedansa pokazali, chto pri uwelichenii koncentracii HF i azotnoj kisloty proishodit rastworenie Si. Izgotowlenie PSL s kruglymi otwerstiqmi prawil'noj formy i malogo diametra proishodilo bystree pri Ag-modificirowannom himicheskom trawlenii p-Si, chem pri tradicionnom trawlenii pqten w tom zhe trawil'nom rastwore, pri kotorom poluchalis' pory znachitel'noj shiriny. Otsutstwie pika serebra w EDX-izmereniqh dlq PSL, poluchennyh w rezul'tate Ag-modificirowannogo himicheskogo trawleniq, swidetel'stwuet o tom, chto osazhdennyj Ag polnost'ü rastworilsq w rastwore posle trawleniq. Rezul'taty SJeM i ASM pokazali, chto diametr nanopor i sherohowatost' powerhnosti uwelichiwalis' po mere uwelicheniq prodolzhitel'nosti trawleniq.