Issledowanie nitrida tantala: Tribologicheskoe issledowanie tonkih plenok

Tonkie plenki igraüt wazhnuü rol' w razrabotke i izuchenii materialow s nowymi i unikal'nymi swojstwami. Tonkie plenki ochen' polezny w sowremennom mire, poskol'ku ih preimuschestwo zaklüchaetsq w izmenenii swojstw powerhnosti ob#emnogo materiala w sootwetstwii s nashimi trebowaniqmi. Tonkie plenki mogut byt' naneseny na sypuchie materialy s pomosch'ü dwuh tipow processow: fizicheskogo osazhdeniq iz parowoj fazy i himicheskogo osazhdeniq iz parowoj fazy. Metod fizicheskogo osazhdeniq iz parowoj fazy imeet preimuschestwo w netoxichnosti i luchshej adgezii tonkih plenok k ob#emnym materialam po srawneniü s himicheskim osazhdeniem iz parowoj fazy. Osnownoj cel'ü nastoqschej raboty qwlqetsq sintez pokrytiq na osnowe nitrida tantala na steklqnnyh, kremniewyh, latunnyh i stal'nyh podlozhkah s ispol'zowaniem processa radiochastotnogo magnetronnogo raspyleniq. Issledowano wliqnie wremeni osazhdeniq i izmeneniq rashoda azota na strukturnye i tribologicheskie swojstwa pokrytiq na osnowe nitrida tantala. Vremq osazhdeniq pokrytiq war'irowalos' ot 20 do 80 min. Skorost' potoka azota izmenqlas' ot 5 do 30 sm3. Dlq opredeleniq struktury i topografii powerhnosti pokrytiq ispol'zowalis' rentgenowskij difraktometr (XRD) i atomno-silowaq mikroskopiq (ASM). Dlq opredeleniq tribologicheskih swojstw pokrytiq ispol'zowalsq tribometr "shtift na diske".