Glas-Titandioxid-Komposite für LTCC-Anwendungen

Inhaltlich unveränderte Neuauflage. In der vorliegenden Arbeit wird die Herstellung von Glas/Titandioxid-Kompositen mit hohen Permittivitäten beschrieben. Ausgehend vom ternären System Bariumoxid-Boroxid-Titandioxid (BaO-B2O3-TiO2) werden zwei verschiedene Glaszusammensetzungen erschmolzen und die Materialeigenschaften mit unterschiedlichen Füllergehalten erarbeitet. Die Permittivitäten der hergestellten amorphen Gläser, die als Ausgangsverbindungen verwendet werden, liegen bei 13 und 14. Die dielektrischen Verlustfaktoren sind dabei für beide Gläser unter 2,5.10-3. Es wird gezeigt, dass Komposite mit Füllergehalten von bis zu 30 Vol.-% Titandioxid bei gleichzeitig niedrigen Porositäten von unter 5 Vol.-% hergestellt werden können. Die Permittivitäten dieser Komposite liegen, wie erwartet, bei Werten von über 30. Die Abhängigkeit der Permittivitäten mit steigendem Füllergehalt wird bestätigt.