Fresado final de alta velocidad de obleas de silicio monocristalinas

El mecanizado de silicio monocristalino es un asunto desafiante y costoso debido a la alta dureza y la fragilidad inherente del material. El principal problema del mecanizado convencional de materiales frágiles como el silicio es la generación de grietas y daños en el subsuelo. Este libro describe un proceso de mecanizado de modo dúctil desarrollado para silicio que emplea fresado de extremo de alta velocidad con herramientas recubiertas de diamante. Se encontró que el método desarrollado aseguraba la integridad de la superficie mecanizada y un buen acabado superficial. La influencia de los parámetros de corte, como la velocidad de corte, el avance y la profundidad de corte, en el mecanizado en modo dúctil se analizan en el libro. Se empleó un diseño factorial completo de experimentos de 3 niveles utilizando la metodología de superficie de respuesta (RSM) para desarrollar un modelo de regresión de la rugosidad superficial promedio. El modelo desarrollado se probó utilizando Análisis de varianza (ANOVA) a un nivel de confianza del 95%. La mejor rugosidad superficial promedio lograda fue de 0,2 ¿m, lo que podría aliviar la necesidad de realizar más operaciones de pulido y pulido para ahorrar costos y tiempo de ciclo de mecanizado de silicio.