Films minces ZnO dopé au fluor par pulvérisation cathodique magnétron

Le développement croissant des technologies de l''information et des télécommunications a entraîné l''intégration des matériaux tansparents conducteurs (TCO) dans le domaine de l''optoélectronique, aussi bien pour les composants discrets que pour les électrodes transparentes de grande surface comme dans les écrans plats. Parmi des nombreuses méthodes de traitement de surface, la synthèse de films minces par pulvérisation cathodique est une méthode très utilisée industriellement. Une couche mince d''un matériau donné est un élément de ce matériau dont l''une des dimensions, qu''on appelle l''épaisseur, a été fortement réduite de telle sorte qu''elle s''exprimera en nanomètres. Cette très faible distance entre les deux surfaces limites entraîne une perturbation de la majorité des propriétés physiques. La différence essentielle entre le matériau à l''état massif et à l''état de couches minces est le fait que, dans l''état massif, on néglige, généralement avec raison, le rôle des limites dans les propriétés, tandis que, dans une couche mince, ce sont au contraire les effets liés aux surfaces limites qui sont prépondérants.