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Extreme ultraviolet lithography

Extreme ultraviolet lithography

Softcover - 9786132732125
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Beschreibung

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Next-generation lithography, Extreme ultraviolet, Valence electron, Interference lithography, Off-axis illumination, Immersion lithography

Details

Verlag OmniScriptum
Ersterscheinung 10. März 2026
Maße 22 cm x 15 cm x 0.5 cm
Gewicht 119 Gramm
Format Softcover
ISBN-13 9786132732125
Seiten 68

Schlagwörter

Astronomie - Raum und Zeit, Physik