Exploración del nitruro de tántalo: Un estudio tribológico sobre láminas delgadas

Las películas finas desempeñan un papel importante en el desarrollo y estudio de materiales con propiedades nuevas y únicas. Las películas finas son muy útiles en el mundo moderno porque permiten modificar las propiedades de la superficie de un material a granel en función de nuestras necesidades. Las películas finas pueden depositarse sobre materiales a granel mediante dos tipos de procesos: deposición física de vapor y deposición química de vapor. El objetivo principal del presente trabajo es sintetizar un recubrimiento basado en nitruro de tántalo sobre sustratos de vidrio, silicio, latón y acero dulce mediante el proceso de pulverización catódica por magnetrón de RF. Se ha estudiado el efecto de la variación del tiempo de deposición y del caudal de nitrógeno sobre las propiedades estructurales y tribológicas del recubrimiento de nitruro de tántalo. El tiempo de deposición del recubrimiento varió de 20 a 80 min. El caudal de nitrógeno varió de 5 a 30 sccm. Se utilizó un difractómetro de rayos X (XRD) y un microscopio de fuerza atómica (AFM) para determinar la estructura y la topografía de la superficie del recubrimiento. Para determinar las propiedades tribológicas del revestimiento se utilizó un tribómetro de disco.