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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

von Walter Olbrich

Softcover - 9783540585114

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Beschreibung

zur Substratoberfliiche wird dort ein Teilchen beschuB ennoglicht.

Details

Verlag	Springer Berlin
Ersterscheinung	21. Oktober 1994
Maße	21 cm x 14.8 cm
Gewicht	220 Gramm
Format	Softcover
ISBN-13	9783540585114
Seiten	126

Schlagwörter

Control - Robotics - Automation, Control - Robotics - Mechatronics, Engineering Economics - Organization - Logistics - Marketing, Industrial Management, Ingenieurswesen - Maschinenbau allgemein, Management und Managementtechniken, Regelungstechnik