Entwicklung einer Prozesssteuerung für einen Dünnschicht-Polysilizium-CVD-Reaktor

Das Bewusstsein für die Notwendigkeit, die CO2-Emissionen zu reduzieren, hat den Auftrag für erneuerbare Energien nur noch verstärkt. Das öffentliche Bewusstsein für höhere Energiepreise und die Probleme der globalen Erwärmung hat den Markt für Solarzellen geöffnet, die für die Stromerzeugung und Energieversorgung gefragt sind. Die Bemühungen zielen darauf ab, erneuerbare Energiequellen zu einem grundlegenden Bestandteil einer nachhaltigen Entwicklungsstrategie für die Energieerzeugung zu machen. Der durch den internationalen Markt ausgelöste Anstieg der Nachfrage nach Solarzellen hat die rasche Entwicklung der Solarzellenindustrie vorangetrieben und zu einer Verknappung des Rohstoffangebots an Polysilizium geführt [1]. Experten sagen voraus, dass die Nachfrage nach der Technologie bis zum Jahr 2010 erheblich steigen wird, was den Grund für die weltweite Knappheit von Siliziumbarren darstellt. Im Mittelpunkt steht dabei der Ausbau von Silizium-Produktionsanlagen nach dem Siemens-Verfahren, um die optimale Nutzung der Ressourcen zu fördern. Daher ist es für die Prozessindustrien von größter Bedeutung, den Bereich der Prozesssteuerung auszubauen. Dieses Buch stellt den Entwurf und die Entwicklung der Prozesssteuerung von CVD-Reaktoren anhand von IEEE-Standards vor. Dieses Buch hilft Ingenieuren, Forschern und Akademikern auf dem Gebiet der Instrumentierung.