Électrodes en couches minces de Mn3O4 évaporées par faisceau d'électrons pour les supercondensateurs

Il existe un intérêt croissant pour le développement de supercondensateurs à couches minces en tant que sources d'alimentation pour les micro et nanodispositifs en constante augmentation tels que les systèmes nanoélectromécaniques, les cartes à puce, les microcapteurs, etc. Pour réaliser des supercondensateurs à couches minces pour diverses applications, le développement d'électrodes de haute qualité est requis. Ce livre présente, des films minces de Mn3O4 sont déposés sur différents substrats en utilisant la technique d'évaporation par faisceau d'électrons. En outre, les films sont recuits à diverses températures et ont prouvé que les films développés sur des substrats de silicium recouverts d'or recuits à 300 ° C présentaient des propriétés électrochimiques supérieures à celles des films déposés.