E-strahlbedampfte Mn3O4-Dünnschichtelektroden für Superkondensatoren

Es besteht ein wachsendes Interesse an der Entwicklung von Dünnschicht-Superkondensatoren als Stromquellen für die ständig zunehmenden Mikro- und Nanogeräte wie elektromechanische Nanosysteme, Smartcards, Mikrosensoren usw. Um Dünnschicht-Superkondensatoren für verschiedene Anwendungen zu realisieren, ist die Entwicklung hochwertiger Elektroden erforderlich erforderlich. Dieses Buch präsentiert Mn3O4-Dünnfilme, die mittels Elektronenstrahl-Verdampfungstechnik auf verschiedenen Substraten abgeschieden werden. Ferner werden die Filme bei verschiedenen Temperaturen getempert und es wurde bewiesen, dass die auf goldbeschichteten Siliziumsubstraten gewachsenen Filme, die bei 300 °C getempert wurden, überlegene elektrochemische Eigenschaften als abgeschiedene Filme aufwiesen.