Durch anodische Auflösung erhaltene nano-poröse Siliziumschichten

Das Buch gibt einen Überblick über die Eigenschaften nanoporöser Siliziumstrukturen, die durch anodisches Ätzen von Siliziumwafern hergestellt werden, und untersucht diese. Poröses Silizium bringt neue Materialeigenschaften mit sich, die sich von denen des massiven Siliziums unterscheiden. Diese neuen Eigenschaften sind von Interesse und können in verschiedenen Bereichen wie Optik, Optoelektronik, Sensorik und Biomedizin eingesetzt werden. Das Verständnis der Dynamik und der Mechanismen, die am Ätzprozess beteiligt sind, wie z. B. die Ursache-Wirkungs-Beziehungen, die internen Wafer-Eigenschaften und die externen anodischen Bedingungen des Ätzprozesses, sind daher von entscheidender Bedeutung, um Technologen bei der Herstellung der gewünschten porösen Strukturen für verschiedene Zwecke zu unterstützen. Verschiedene Siliziumwafer mit unterschiedlichen Eigenschaften werden in einer kontrollierten Umgebung mit unterschiedlichen äußeren Bedingungen wie Stromdichte, Elektrolytlösungen, oberflächenaktiven Stoffen und Ätzzeit geätzt. Es werden Zusammenhänge und Abhängigkeiten zwischen der Dicke der geätzten porösen Schicht, der Ätzrate und der Abbaugeschwindigkeit der Strukturen und der Oberflächenmorphologie von den äußeren anodischen Bedingungen hergestellt.