Diffuziq primesej w poluprowodnikah

V sowremennom poluprowodnikowom proizwodstwe tehnologicheskie processy harakterizuütsq malymi dlinami i korotkimi wremenami, chto zachastuü priwodit k wozniknoweniü nerawnowesnyh uslowij, takih kak narushenie lokal'noj älektronejtral'nosti (JeN), otklonenie ot rawnowesiq w kwazihimicheskih reakciqh mezhdu primesqmi, defektami i ih komplexami, obrazowanie nerawnowesnyh koncentracij sobstwennyh tochechnyh defektow (STD), kontroliruüschih diffuziü. V rabote predstawleny rezul'taty issledowaniq sowmestnoj diffuzii ionizowannyh primesej pri narushenii lokal'noj JeN; diffuzii primesi w uslowiqh narusheniq rawnowesiq po STD; getterirowaniq zagrqznqüschej primesi odnorodno i neodnorodno legirowannymi sloqmi, a takzhe getterirowaniq primesi, diffundiruüschej po mehanizmu wytesneniq. Awtorami podrobno rassmotreny suschestwuüschie matematicheskie modeli diffuzii i metody resheniq diffuzionnyh urawnenij. Kniga budet polezna kak studentam i aspirantam tak i professionalam w oblasti poluprowodnikowogo proizwodstwa pri razrabotke programm fiziko-tehnologicheskogo modelirowaniq, a takzhe pri raschöte tehnologicheskih processow izgotowleniq IMS ili silowyh priborow.