DC Magnetron Sputtered Aluminum doped ZnO Thin Films

Filmes altamente condutores e transparentes têm muitas aplicações importantes, tais como eletrodos transparentes para dispositivos optoeletrônicos e espelhos de calor transparentes para utilização de energia solar. Embora os filmes finos de óxido de índio e estanho (ITO) sejam geralmente utilizados para aplicações práticas, o ITO é um material relativamente caro porque o índio não é abundante. Recentemente, as películas finas de ZnO de Al-doped atraíram o interesse como material de revestimento transparente e condutor, porque o baixo custo deste material torna-o atractivo para aplicações em larga escala. Neste livro, serão discutidas as condições otimizadas de deposição para a preparação das películas finas de Al-doped ZnO pelo método de pulverização de magnetron DC reativo. As propriedades estruturais, morfológicas de superfície, elétricas e ópticas dos filmes finos de Al-doped ZnO foram relatadas sistematicamente.