Capteur acoustique MEMS à base de nitrure d'aluminium

Aluminium Nitride based Sensor détaille la conception, la simulation et la fabrication d'un capteur acoustique MEMS à base d'AlN pour la mesure de niveaux de pression acoustique élevés. Il est utile aux chercheurs ainsi qu'aux étudiants qui cherchent à mieux comprendre la fabrication des capteurs et à devenir plus efficaces et productifs dans la technologie des capteurs. Ce livre détaille la comparaison entre les propriétés de différents matériaux piézoélectriques. Il couvre les principales caractéristiques des étapes de fabrication des semi-conducteurs avec des aspects à la fois pratiques et théoriques, ce qui devrait intéresser des lecteurs ayant des intérêts et des besoins variés. L'auteur partage des connaissances et une expérience précieuses sur la conception, la simulation et la fabrication des capteurs acoustiques. Les sujets spécifiques abordés comprennent la conception et la modélisation mathématique, la disposition des masques, le micro-usinage en vrac et l'optimisation des diaphragmes, la conception des masques, le développement et l'optimisation de la couche d'AlN.