Beschichten mit Hartstoffen

aus der Sieht des WerkstofTherstellers 106 Silbemes TiN dureh Magnetronsputtem und seine Anwendungsbeispiele . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121 Das unbalaneierte Magnetron . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129 Plasmanitrieren von Titan und Titanlegierungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163 Oberfiaehenbehandlung von TI-Werkstoffen mit CO -Hoehleistungslasem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176 2 Ionenstrahlmisehen von Hartstoffsehiehten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 188 Modeme Entwieklungen auf dem Gebiet der CVD-Besehiehtung von Hartmetallen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 205 MOCVD fUr Hartstoffe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 221 Plasma-CVD-Besehiehtung von Hartmetallen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239 Neue Sehiehtsysteme mit dem ARC-PVD-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 250 Korrosionssehutz mit PVD-Sehichten auf Cr-Basis . . . . . . . . . . . . . . . . .