ANALYSE VAN EXCIMER LASERBEWERKING VAN MICROPATRONEN

Een lasersleepproces om een groefpatroon en meer verfijnde 3D-kenmerken te ableren op een polycarbonaat (PC) plaat door middel van een maskeropening wordt geanalyseerd. Om het bewerkte profiel tijdens het sleepproces te voorspellen, wordt een wiskundig model ontwikkeld dat de relatie tussen laserbewerkingsparameters en het geproduceerde profiel beschrijft. Het voorgestelde model wordt experimenteel geverifieerd. Deze studie toont de resultaten van het experiment en de numerieke simulatie in zowel enkelvoudig als kruislings slepen met elliptische, driehoekige en rechthoekige maskers. De werkingsparameters omvatten de sleepsnelheid, pulsherhalingsfrequentie, pulsaantal, fluentie en de openingsdimensie van het maskerpatroon. Er wordt een goede overeenkomst tussen het experiment en de simulatie aangetoond met afwijkingen van minder dan 14%. Op basis van het voorgestelde model, kan miniatuur lamp lens worden vervaardigd door het variëren van laser operationele parameters, masker vorm en afmetingen. Verder wordt het voordeel van de lamplens met micro-afmetingen op lichtefficiëntie onderzocht. De resultaten illustreren dat de optische systemen met de lamplens van microformaat betere optische prestaties kunnen bieden dan die met lamplens van macroformaat.