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X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control

X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control

von Frieder Johannes Koch
Softcover - 9783731506799
41,00 €
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Beschreibung

Grating based X-ray phase contrast imaging sets out to overcome the limits of conventional X-ray imaging in the detection of subtle density differences and opens a way to characterize a sample’s microstructure without the need for ultrahigh spatial resolution. The technique relies on grating structures with micrometric periods and extreme aspect ratio – their fabrication by X-ray lithography with optimal structure quality is the topic of this work.

Details

Verlag KIT Scientific Publishing
Ersterscheinung 16. Oktober 2017
Maße 21 cm x 14.8 cm
Gewicht 325 Gramm
Format Softcover
ISBN-13 9783731506799
Seiten 170

Schlagwörter