Tungsten Karbonitrür Kaplama (WCN)

Bu çal¿¿mada yüksek safiyette (% 99,5) tungsten karbür WC (% 7Co) hedef malzeme ve N2 reaktif gaz¿ kullan¿larak reaktif do¿ru ak¿m manyetik alanda s¿çratma yöntemiyle yüksek h¿z çeli¿i ve silisyum (100) plakalar üzerine farkl¿ kompozisyonlarda tungsten karbonitrür ince filmler biriktirilmi¿tir. Reaktif gaz ak¿¿ oran¿ % 5 ve % 50 aras¿nda de¿i¿tirilerek kaplamalar¿n kimyasal kompozisyonlar¿ de¿i¿tirilmi¿tir. Üretilen filmlerin kal¿nl¿klar¿, yap¿sal ve kimyasal kompozisyon özellikleri s¿ras¿yla SEM ve EPMA-WDS ile analiz edilmi¿tir. Filmlerin faz analizleri dü¿ük aç¿l¿ ince film XRD ile yap¿lm¿¿t¿r. WCN kaplamalar¿n sertlikleri ve ä¿nma özellikleri nanoindentasyon ve ä¿nma testleri ile belirlenmi¿tir. Son olarak, EPMA ile ä¿nma izlerinin görüntüleri al¿nm¿¿ ve elementel haritalar¿ ç¿kar¿larak ä¿nma izlerinde element de¿i¿iklikler incelenmi¿tir. Çal¿¿mada analiz ve test sonuçlar¿ reaktif gaz ak¿¿ oran¿ ile WCN filmlerin yap¿sal, mekanik ve tribolojik özellikleri aras¿ndaki ili¿ki incelenmi¿tir.