Silicio poroso " Elaboración y caracterización

En nuestro trabajo nos interesaba estudiar el fenómeno de transformación de las capas de silicio monocristalino en silicio nanoestructurado. Se cultivaron varias muestras de silicio poroso mediante anodización electroquímica sobre sustratos de Si (100) tipo P y Si (100) tipo N, variando algunos parámetros experimentales como la intensidad de corriente y el tiempo de anodización y la composición del electrolito. Para llevar a cabo nuestro trabajo, hemos caracterizado las propiedades de las capas mediante diferentes métodos de caracterización morfológica, estructural y optoelectrónica: SEM, fotoluminiscencia (PL), infrarrojo (FTIR), elipsometría ES y medidas de reflectancia. Los resultados de los análisis permitieron poner de manifiesto la influencia de los parámetros de anodización y, en particular, la intensidad de la corriente y la duración de la anodización. El cálculo de la porosidad de las capas nanoestructuradas nos da una variación de esta última que va del 45 al 80%. Mediante una elección acertada de los parámetros experimentales es posible controlar el tamaño de las nanoestructuras y la porosidad de las muestras elaboradas.