Sensor acústico MEMS basado en nitruro de aluminio

Sensor basado en nitruro de aluminio detalla el diseño, la simulación y la fabricación de un sensor acústico MEMS basado en AlN para la medición de altos niveles de presión sonora, que resulta beneficioso tanto para los investigadores como para los estudiantes que buscan comprender mejor la fabricación de sensores y ser más eficientes y productivos en la tecnología de sensores. Este libro detalla la comparación entre las propiedades de diferentes materiales piezoeléctricos. Cubre las principales características de los pasos de fabricación de los semiconductores con aspectos tanto prácticos como teóricos, lo que debería atraer a lectores con diversos intereses y necesidades. El autor comparte sus valiosos conocimientos y experiencia en el diseño, simulación y fabricación de sensores acústicos. Los temas específicos que se tratan son el diseño y la modelización matemática, la disposición de la máscara, el micromecanizado a granel y la optimización del diafragma, el diseño de la máscara, el desarrollo y la optimización de la capa de AlN.