Sensor Acústico MEMS à base de Nitreto de Alumínio

Sensor baseado em Nitreto de Alumínio detalha a concepção, simulação e fabrico do sensor acústico MEMS baseado em AlN para medição do nível de pressão sonora elevada que é benéfico tanto para os investigadores como para os estudantes que procuram compreender melhor o fabrico do sensor e tornar-se mais eficientes e produtivos na tecnologia de sensores. Este livro detalha a comparação entre as diferentes propriedades dos materiais piezoeléctricos. Cobre as principais características das etapas de fabrico de semicondutores com aspectos práticos e teóricos, que devem apelar aos leitores com interesses e necessidades variadas. O autor, partilha conhecimentos e experiência valiosos sobre concepção, simulação e fabrico de sensores acústicos. Os tópicos específicos abrangidos incluem concepção e modelação matemática, disposição de máscaras, micromaquinagem a granel e optimização de diafragma, concepção de máscaras, desenvolvimento e optimização da camada AlN.