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Modelling of Microfabrication Systems

Modelling of Microfabrication Systems

von Raja Nassar und Weizhong Dai
Hardcover - 9783540002529
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Beschreibung

This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

Details

Verlag Springer Berlin
Ersterscheinung 13. Juni 2003
Maße 23.5 cm x 15.5 cm
Gewicht 588 Gramm
Format Hardcover
ISBN-13 9783540002529
Auflage 2003
Seiten 270

Schlagwörter

Computer Modelling, Computermodellierung und -simulation, Electronics and Microelectronics - Instrumentation, Elektronik, Microsystems and MEMS, Nanotechnologie, Nanotechnology, Numerical Analysis, Numerische Mathematik

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